サイクル(Cycle)1550nm微細加工用フェムト秒レーザー SOPRANO 15 mini
サイクル(Cycle)1550nm微細加工用フェムト秒レーザー SOPRANO 15 mini
Cycle社（ドイツ ハンブルク）製「SOPRANO 15 mini」は、多種多様の用途に適応できる最新のフェムト秒レーザーで、中心波長は1550nm, パルス幅は<130fsです。特に、OBIC観察などのような半導体素子やその他の受光素子の欠陥検出用の光源として非常に優れています。
本製品は、産業用途や科学用途などで要求される厳しい動作環境でも優れた耐久性を実現できるように設計されており、24時間連続稼働にも耐えうる高い信頼性をも有しています。科学専門家らと密接に連携を図って開発された独自の光源により、複雑なシステムを高性能かつ低価格でユーザーへ提供することを可能にしました。
index
主な特長
- 中心波長：1550nm
- 平均出力：>200mW
- 繰り返し周波数：30MHz（固定）
※オプションでその他または可変繰り返し周波数にも対応 - パルス幅（固定）：<130fs
| 暫定的な各パラメーター仕様 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 中心波長 | 1550nm | |
| パルス幅 | <130fs | 固定 |
| 平均出力 | >200mW | |
| パルスエネルギー | 6.6nJ | |
| ピークパワー | 45kW | |
| パルス繰り返し周波数 | 30MHz | より高い値も可能 |
| スペクトル帯域幅 | ~60nm | フーリエ変換限界 |
| ビーム品質 | M2値(ビーム集光性) < 1.2TEM00 | |
| 偏光消光比 | >20 dB | |
| ビーム出力 | 自由空間へのコリメート光出力 | ビーム高さ98.5mm |
サイクル(Cycle)1550nm微細加工用フェムト秒レーザー SOPRANO 15 miniのテクニカルノート
アプリケーション
- 多光子励起顕微鏡
- ポンプ・プローブ法
- センシング （光の検知 ・ 感知）
- 分光法
- 半導体素子の欠陥検査
- 光パラメトリック発振器/光パラメトリック発振器用の励起光源
- 微細加工（シリコン加工など）
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