343nm 高出力ファイバーレーザー YUCCA
343nm ファイバーレーザー YUCCA
高出力 | パルス発振 | ファイバーレーザー
UVファイバーレーザーである YUCCA は、短いナノ秒パルス・高いパルス繰り返し率で高出力を提供します。
より短いパルス幅でレーザープロセスの品質を向上させ、より高いパルス繰り返し率で生産性を向上させるように完全に設計されています。
革新的な特許取得済みのファイバー設計により、短いナノ秒パルス、高速プロセスのパフォーマンス、および全体的な処理コストの削減という独自の組み合わせが可能になります。
パルス繰り返し率範囲全体にわたって一定の短いナノ秒のパルス幅とビーム品質を備えた YUCCA は、より高いスループットを目標とする次世代の UV レーザー微細加工装置に最適なレーザー光源です。
YUCCA は、産業品質基準を超え、信頼性と保守性を保証するために、ハイエンドの方法論を使用して設計されています。
現場で実証済みの技術と適格な構成、優れた手法と高品質を使用して製造された YUCCA は、長期の生産サイクル環境における 24時間年中無休の運用に最適なレーザーです。
index
主な特長
- 高出力
- ショートパルス 2ns 最高 1MHz
- 優れたビーム品質 M² < 1.2 最高 1MHz
- 高いピークパワー
- 現場で実証されている技術
- HALT(高加速限界試験) 設計/ HASS（高加速ストレススクリーニング）準拠
- 2ns 、 5ns 、 7.5ns 、 10ns 、バースト
アプリケーション
- PCBビアドリリング, カッティングおよびデパネリング
- ITOパターニング
- ウェハスクライビングとデボンディング
- ガラス加工
- CFRP加工
- バッテリー加工
- セラミックスクライビング, カッティングおよびドリリング
- マテリアルテクスチャニング
仕様
YUCCA 45-343 仕様
| YUCCA 45-343 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 波長 | 343nm ± 0.1nm | ||||
| 平均出力(*)(**) (*)パルス幅は2ns ～ 10nsの範囲で選択可能。工場出荷前に設定します。 (**)バーストモードはご要望に応じて対応 |
2 ns 45W @ 500 kHz 45W @ 600 kHz 35W @ 1 MHz |
5 ns 45W @ 250 kHz 45W @ 500 kHz 29W @ 1 MHz |
7.5 ns 45W @ 225 kHz 45W @ 400 kHz 25W @ 800 kHz |
10 ns 45W @ 200 kHz 45W @ 300 kHz 20W @ 700 kHz |
バースト (**) |
| パルス幅 | 2 ns, 5 ns, 7.5 ns, 10 ns, またはバースト | ||||
| 周波数 | シングルショット～1500kHz | ||||
| 出力安定性 | < 2%,2σ,8時間以上 | ||||
| エネルギー安定性 | < 3% RMS | ||||
| M2 | < 1.2 | ||||
| ビーム拡がり角 | < 0.3 mrad | ||||
| ビーム径 | 3.5mm ± 0.35mm | ||||
YUCCA 60-343 仕様
| YUCCA 60-343 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 波長 | 343nm ± 0.5nm | ||||
| 平均出力(*)(**) (*)パルス幅は2ns ～ 10nsの範囲で選択可能。工場出荷前に設定します。 (**)バーストモードはご要望に応じて対応 |
2 ns 60W @ 600 kHz 60W @ 1 MHz 25W @ 2.5 MHz |
5 ns 60W @ 400 kHz 60W @ 600 kHz 25W @ 1.5 MHz |
7.5 ns 60W @ 300 kHz 60W @ 400 kHz 25W @ 1 MHz |
10 ns 60W @ 200 kHz 60W @ 300 kHz 25W @ 800 kHz |
バースト (**) |
| パルス幅 | 2 ns, 5 ns, 7.5 ns, 10 ns, またはバースト | ||||
| 周波数 | シングルショット～2500kHz | ||||
| 出力安定性 | < 2%,2σ,8時間以上 | ||||
| エネルギー安定性 | < 3% RMS | ||||
| M2 | < 1.2 | ||||
| ビーム拡がり角 | < 0.3 mrad | ||||
| ビーム径 | 3.5mm ± 0.35mm | ||||
YUCCA 100-343 仕様
| YUCCA 100-343 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 波長 | 343nm ± 0.5nm | ||||
| 平均出力(*)(**) (*)パルス幅は2ns ～ 10nsの範囲で選択可能。工場出荷前に設定します。 (**)バーストモードはご要望に応じて対応 |
2 ns 100W @ 1 MHz 70W @ 1.5 MHz 50W @ 2 MHz |
3 ns 100W @ 800 kHz 90W @ 1 MHz 30W @ 2 MHz |
5 ns 100W @ 500 kHz 55W @ 1 MHz |
10 ns 100W @ 200 kHz 60W @ 400 kHz |
バースト (**) |
| パルス幅 | 2 ns, 3 ns, 5 ns, 10 ns, またはバースト | ||||
| 周波数 | シングルショット～4MHz | ||||
| 出力安定性 | < 2%,2σ,8時間以上 | ||||
| エネルギー安定性 | < 3% RMS | ||||
| M2 | < 1.2 | ||||
| ビーム拡がり角 | < 0.3 mrad または < 0.2 mrad | ||||
| ビーム径 | 3.5mm ± 0.35mm または 5mm ± 0.5mm | ||||
仕様
| YUCCA 45 -343 | YUCCA 75 -515 | |
|---|---|---|
| 波長 | 343nm | 515nm |
| 出力 | 45W / @ 400kHz / 7,5ns 40W / @ 700kHz / 2ns |
75W / 400kHz / 7,5ns 65W / 700kHz / 2ns |
| パルス幅 | 2ns 、 5ns 、 7.5ns 、 10ns 、バースト | 2ns 、 5ns 、 7.5ns 、 10ns 、バースト |
| 最大パルスエネルギー | 最高200µJ | 最高375µJ |
| ビーム品質 | M² < 1.2 | M² < 1.2 |
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