AP-3-01計測アプリケーションにおける精密測定用の干渉計 (Pacific Lasertec社)

2025年 02月12日

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干渉計ベースの技術は、位置、速度、角度、真直度、その他多くのパラメーターの精密測定を必要とするあらゆるタイプのシステムで使用されます。これらは、いわゆる「計測」アプリケーションのクラスの一部です。例としては、フォトリソグラフィーシステムの半導体ウェハーステッパー、ハードドライブおよびCD/DVD/Blu-rayディスクのマスタリング、光学ダイヤモンド旋削やその他の高性能CNC機械、一般的な工作機械のキャリブレーションなどが含まれます。測定は、既知の波長のレーザー光をメートル(またはヤード)の棒として使用して、ナノメートルまでの分解能で数十メートルにわたって行うことができます。2周波レーザーを使用するシステムについて説明する前に、バックアップする必要があります。

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